生平
嘉靖四十三年甲子科鄉試九名,四十四年(1565年)乙丑科會試二百五十三名,廷試三甲一百六十三名進士。大理寺觀政,本年八月授宿松知縣,四十五年十一月調繁太湖縣,隆慶二年(1568年)六月行取,九月升戶部主事,三年七月調吏部,四年六月升員外,五年七月升郎中,六年十二月養病。萬曆二年(1574年)五月復除本部,九月丁憂。六年三月復除本部,本月調文選司,七年三月升太常寺少卿提督四夷館,八年三月升大理寺右少卿,九月升左少卿,九年十一月升太僕寺卿,十年二月改光祿寺卿,十一年二月升順天府府尹,十二年七月升右副都御史、巡撫河南,十四年正月回籍調理。二十七年(1599年)起升南京兵部右侍郎,三十一年八月以考滿赴京引疾乞休,上不允。三十三年九月萬壽節南京文武百官齊赴禮部衙門呼嵩拜祝,臧惟一甫一跪拜,遂伏地不能起,以失儀被南京浙江道御史朱吾弼彈劾,特准回籍調理。三十五年卒,享年六十六,三十七年正月賜祭葬,三月贈南京工部尚書。
家族
曾祖父臧智,贈經歷;祖父臧斐,州同知贈光祿卿;父臧節,累封光祿卿。嫡母孟氏,累贈淑人;生母焦氏,封宜人、贈淑人。兄惟精、弟惟時、惟敬、惟幾、惟孝、惟忠。
臧惟幾,號敬軒,官太醫院吏目。