在北齊任官司空府參軍，轉任尚書左外兵郎中，掌管祠部。觀測到龍星，向大臣高阿那肱進言進行雩祭，高阿那肱以為只是龍星不是真龍出現，沒有實行。源師感嘆禮制廢除，預見北齊滅亡。577年，北周武帝平定北齊，源師擔任司賦上士。

581年，楊堅建立隋朝，擔任魏州長史。召入長安擔任尚書考功侍郎，掌管吏部。參加議論制定隋朝國製法令。597年，歷任尚書右丞、尚書左丞，以智慧、才幹知名。蜀王楊秀違犯法令，源師擔任益州總管司馬加以教導。朝廷召楊秀回長安，楊秀害怕，稱病不行。源師勸他不要違反皇帝命令，激怒了楊秀，源師哭泣勸諫，楊秀最終聽從了他的建議。楊秀被廢後、益州官屬多被連坐，源師因為此事獲免。後加位儀同三司。

604年，隋煬帝即位，任大理少卿。有一個主帥私用衛士外出，煬帝把這個主帥抓起來送交大理寺。源師上奏按照律令應該判處徒刑，煬帝要斬殺這個主帥。源師極力勸諫，煬帝最後聽從了。轉任刑部侍郎，在官任上去世。其子源崐玉。