唐朝

唐朝御史台分為三院，其中監察御史屬察院，設十五人，掌「分察百僚、巡按郡縣、糾視刑獄、肅整朝儀」（唐六典），為正八品下，品秩雖低但權限廣。

明朝

明朝設立十三道監察御史，共有一百一十人，為正七品。其中浙江、江西、河南、山東各有十人；福建、廣東、廣西、四川、貴州各有七人；陝西、湖廣、山西各有八人，雲南有十一人。

十三道監察御史

十三道監察御史，主管察糾內外百官，或者可以明章面奏彈劾，或者可以密奏彈劾。在內兩京清查監獄訴訟案件的審理有無拖延冤枉；巡視京都軍營；監督鄉試、會試以及武舉考試；巡視光祿寺；巡視倉庫；巡視內庫、皇城、五城等。

除十三道各自負責的行政區內事宜，各道亦協管兩京、直隸（北直隸、南直隸）衙門，其中都察院衙門分屬河南道，獨專諸內外考察事宜。

巡按御史

明成祖永樂年間，派遣監察御史至各地巡視政情，稱「巡按御史」，簡稱巡按，職權似漢朝之刺史。巡按兩字，指「巡」行各地，「按」考視察。巡按雅稱為「代天巡狩」，巡按御史只是四品以下的欽差官員種類之一，並不是後世所稱的「欽差大臣」，即所謂「欽使」。

在外巡按的御史，北直隸兩人、南直隸三人、宣大一人、遼東一人、甘肅一人，十三省各一人。清理軍隊、提督學校，兩京各有一人；萬曆末年，南京增設一人。巡視鹽政，兩淮一人，兩浙一人，長蘆一人，河東一人。巡按御史是「代天子巡狩」，按察藩王大臣、府州縣官等各方面考察，特有舉報彈劾權力，大事上奏皇帝裁定，小事須立即裁決。巡行所至地區，必須先審查案件罪犯，調查訴訟案卷，有事實出入，必須依理辨明。各祭祀壇場，審查其牆壁房屋祭祀禮儀。體恤孤苦老人，巡視倉庫，清查錢糧，勉勵學校，表彰善者，清除豪強敗類，以此匡正風俗、振揚綱紀。凡事政事得失、軍民利弊，都要直言。有重大政事，須在朝廷會報。都察院總理憲章綱紀，只要有所見聞，必須糾正巡察。各御史糾察彈劾的事，必須寫清年月與證據，不得以空話詆毀，挑剔細節。出外巡按後覆命，都御史必須複查稱職與否後上奏。凡是御史犯罪，罪加三等，有贓物者，從重論處。

清朝

清朝監察御史基本沿襲明制，另加設江南道、京畿道監察御史。在清朝，此官職配置於朝廷或地方，品秩為從五品，到清末又分江南道為江蘇、安徽兩道，湖廣道為湖北、湖南兩道；增設遼瀋道、甘肅道、新疆道。清朝滅亡後，該官職廢除。

中華民國監察委員

1931年，中華民國為仿效御史諫官制度之優點，始設監察院。

依照中華民國國父孫中山五權憲法的論述為基礎，除行政、立法、司法之三權分立政體外，另外獨立出考試、監察，用意係落實民權，將公職考選、對政府要員之監察之兩項國家權力歸還全民。監察權的獨立也系統性的避免國會利用監察彈劾權力對行政單位施壓，造成國會專制，直接的弱化立法權、強化行政權。

行使監察權責的人員為監察委員。監委之選舉，依照中華民國憲法原文，由省、市議會執行監委之選舉。而在民國81年（1992年）5月的中華民國憲法增修條文第二次增修，改為總統提名、經國民大會同意始任之。後於民國89年（2000年）4月，監委任免之同意權改由立法院行使。

中華人民共和國監察官