秦朝初置，汉代沿用，隶属于御史大夫之下，可弹劾非法。

汉宣帝时又有治书侍御史一职，掌五曹，即令曹、印曹、供曹、尉马曹、乘曹。东汉时侍御史还会被朝廷派到地方镇压民变。三国时，曹魏于殿中省置殿中侍御史，掌记录朝廷动静，纠弹百官朝仪。

隋改殿中侍御史为殿内侍御史。

唐代侍御史归属台院，共四员，又改殿内侍御史为殿中侍御史，归属殿院，用来纠察早朝礼仪。

唐宋两朝，御史台所属机构有台院、殿院和察院鼎三而立，分别由侍御史、殿中侍御史和监察御史任职。自魏晋迄于宋、元朝，均置侍御史。

明代以后此职遂废。

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